階    段	OPTM-A1	OPTM-A1	OPTM-A1
波長范圍	230nm～800nm	360nm～1100nm	900nm～1600nm
膜厚范圍	1nm～35μm	7nm～49μm	16nm～92μm
測定時間	1秒/點
光徑大小	10μm（可小至約5μm）
檢 測 器	CCD	CCD	InGaAs
光    源	氘燈+鹵素燈	氘燈+鹵素燈	鹵素燈
電源規(guī)格	AC100V±10V 500VA (自動樣品臺規(guī)格）
尺    寸	556(W)×566(D)×618(H)（自動樣品臺主體規(guī)格）
重    量	約55kg（自動樣品臺主體規(guī)格）

• 顯微分光厚膜儀應(yīng)用特點：

      1.反射對物鏡片實現(xiàn)透明基板的高精度測定

       如果是透明基板，因里面的反射光而無法正確測出膜厚。通過反射対物鏡片，可物理性的消除里面反射。即使是透明基板也可測出高精度的膜厚。特別是對帶有光學(xué)非均質(zhì)的基板效果很好。

      2.顯微分光厚膜儀在微小區(qū)域測定所瞄定的模式或部位

      在軟件上通過同時顯示樣品畫面和測定光采取部位，可很好的確認到測定點。特別是對有微小點（直徑≥3μm）的形狀的樣品。

      3.顯微分光厚膜儀在紫外區(qū)域?qū)崿F(xiàn)極薄膜的測定

      在光干涉法中，膜越薄反射率的變化就越小。在紫外區(qū)域，由于膜厚反射率的變化相比可視區(qū)域要大，如果厚度為1nm左右的極薄膜，在紫外區(qū)域的測定效果很好。

     4.顯微分光厚膜儀在近紅外區(qū)域?qū)崿F(xiàn)帶色樣品的測定

      在可視區(qū)域，即使時吸收較強的彩色膜等帶色的樣品，在近紅外區(qū)域幾乎會變得很透明，所以在近紅外區(qū)域的測定效果很好。

      5.自動XY平臺實現(xiàn)多點自動檢測

      OPTM標配XY自動平臺，僅需輸入坐標即可自動多點檢測大面積樣品， 實時獲取厚度分布圖。平臺設(shè)有防誤觸光欄，避**測過程誤觸。平臺尺寸200mm×200mm，可以檢測12寸晶圓。

      6.顯微分光厚膜儀的操作便捷，檢測時間短

      QC模式—點擊即檢測；

      R&D模式—非標準樣品檢測時間小于1s。